UNIC干燥机简介
韩国UNIC公司2014年成立，技术经验20年以上，目前有30名以上的工程师，专注于干燥机及POD清洗机的研发和制造，具有完全的知识产权和专利技术，目前全球已经售出上千台干燥机。在中国江苏启东设有售后团队，可快速响应客户的服务需求。
产品概述
马兰戈尼干燥机是半导体行业中用于在IPA气氛下从水中缓慢提升晶圆进行干燥的设备。它主要用于马兰戈尼干燥过程，确保提供洁净的环境，从而保证晶圆的干燥质量。为了实现这一目标，该设备通常会采用高效过滤器和特殊的气流系统，以确保空气的纯净度和均匀度。除此之外，马兰戈尼干燥机还配备了相应的控制系统和安全保护装置，以确保操作的安全性和稳定性。目前，马兰戈尼干燥技术是最先进的干燥技术。
工作原理
马兰戈尼效应：由于两种表面张力不同的液体界面之间存在张力的梯度而使质量移动的现象。在半导体行业中，马兰戈尼效应可以影响制造过程中的许多环节，如光刻、涂胶/显影、蚀刻等。
产品特点
◎ Particle: 在各种类型中具有最佳的高级干燥和颗粒控制性能
◎ Watermark: Free
◎ 金属杂志：不含
◎ 为任何类型的晶圆和高科技晶圆工艺提供解决方案
◎ 提供高性能的新型鼓泡器
◎ 通过优化工艺节拍时间实现高产量
◎ 不参与任何针对湿法设备制造商业务的威胁活动
◎ 低成本管理：低IPA消耗/低电能消耗/能耗更低，性能更高
◎ 基本符合ISO 9001，14001管理标准
◎ 风险与故障对策管理
◎ 无火灾风险室温控制干燥机管理
◎ 安全和质量保证热温度。控制干燥机管理
◎ 与客户的持续质量反馈管理
产品型号
序号 | 型号 | 说明 |
|---|
1 | OFT68-1C | 兼容6寸和8寸wafer，清洗1个CST |
2 | OFT8-2C | 单独8寸，洗2个CST，也称为双八 |
包装重量
包装尺寸 | 2100*1600*2100mm |
包装重量 | 650KG |
HS编码 | 8486.20-7000/84862090 |
附带配件 | ETC Box：含touch panel, union(DIW supply), foot base, doument file.（如图） |
相关尺寸
应用类型
NORMAL 类型
(1) Rinse Process & Dry Process
(2) Wet Integration Or Stand Alone
(3) Room Temp. Or Hot Temp.
(4) IPA Consumption: 0~30cc/Batch
DHF 类型
(1) HF Etching & Rinse Process & Dry Process
(2) Wet Integration Or Stand Alone
(3) Room Temp. Or Hot Temp.
(4) IPA Consumption: 0~30cc/Batch
SWIVEL 类型
(1) Normal/Thin/Warpage/Sensitive Wafer Perfect Control
(2) Rinse Process & Dry Process (Cassette, Wafer, Etc.)
(3) Wet Integration Or Stand Alone
(4) Hot Application Available ( N2+ Hot N2 / Hot IPA+ N2 or Hot N2)
(5) IPA Consumption: 0~40cc/Batch
HDD 类型
(1) Specialized for HDD (Hard Disk Dryer) Cleaning & Drying Process
(2) Up to 100ea Hard Disk / Batch
业务对接流程
客户先提供CST及 Wafer 信息参数，制造阶段提供CST及 Wafer 实物供验证。
设计阶段韩国提供干燥机与清洗机对接流程、电气对接方式及相应的接线说明，HOOK UP 文件。
UNIC信息确认：
①干燥机是单独设备，投入 Wafer 的时候是手动投入还是机械手自动投入？
②IPA 的供应是 CCSS（中央厂务供应）还是 LCSS（本地供应）？
相关知识点
槽和机械手可能会干涉，所以有的厂商会要求把槽加宽。
IPA浸泡式/IPA蒸汽式 这两个工艺是老工艺，IPA使用量也大还危险，目前一般都不用这个工艺了，马兰戈尼的方式是最好的。
对气体的压力要求：一般为400~700 kPa (4~6 bar)
OFT68-1C：配有1个N2过滤器，1个IPA过滤器，1个Hot N2过滤器。
OFT8-2C：配有2个N2过滤器，1个IPA过滤器，1个Hot N2过滤器。
OFT8-2C：①IPA消耗量是0-30cc，变成气体后喷射出来，大约有10%的IPA溶解在水里了。②双槽的槽体容积是70L。
OFT8-2C：石英槽比6&8共用洗1个CST的那种干燥机的石英槽要更大。
可按照客户要求预留灭火器位置，然后客户自行配置灭火器。
每个步骤的工艺时间：wafer dry为喷射IPA，开始干燥到结束，整体下来全程一般在600秒左右。
OFT8-2C气体消耗量：
应用案例
